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    2. 容器組件

      IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵

      • 產品名稱:IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵
      • 產品型號:FLP-75W型
      • 產品廠商:IWAKI 易威奇
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      簡單介紹
      IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵

      IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵

      的詳細介紹

      IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵

      IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵

      IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵

      IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵

      IWAKI 易威奇 FLP-75W氣動低脈動波紋管泵

      氣動低脈動波紋管泵 FLP系列 不需要阻尼器,實現低脈動,有助于降低總成本 它通過適用于單晶圓工藝的出色負載跟隨性實現穩定工作


      產品特點

      低脈動:根據激光位移傳感器和接近開關的信號,控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量,并通過切換電磁閥來減小脈動。

      優異的負載跟隨性,適用于單晶圓工藝:通過執行相位控制改善了負載波動的可跟隨性。特別是在頻繁發生壓力波動的生產線中,例如單張紙加工,其高負荷跟隨能力實現了排出量和排出壓力的穩定操作。 

      無需阻尼器,節省空間:由于不需要安裝阻尼器,因此實現了裝置的節省空間。管道工作也很容易,可以減少昂貴的管道材料,如氟樹脂配件,有助于更小更輕的設備。 

      **設計:波紋管焊接結構可防止液體泄漏,即使波紋管破裂,也會采用檢測漏液的泄漏傳感器,因此您可以放心使用。 

      產品規格

      *大放電量L/min 92
      工作液溫度 5 ? 100 101 ? 150 151 ? 180
      *大氣壓范圍MPa 0.1 ? 0.5 0.1 ? 0.4 0.1 ? 0.3
      自吸能力注2m 1
      *大液體輸送粘度mPa?s 50
      環境工作溫度/濕度  /%RH 0 ? 60℃/ 30 ? 60%RH(無冷凝)
      存儲環境溫度/濕度   /%RH -10 ? 60℃/ 20 ? 70%RH(無冷凝)
      安裝環境 室內(但塵土較少的環境)
      使用條款  間歇性操作
      使用方法 驅動空氣外部強制切換系統
      吸入側連接管道端口直徑 φ 31.8× φ 28.0mm(PFA)
      排出側連接管道端口直徑  φ 25.4× φ 22.2mm(PFA)
      供氣連接口直徑 Rc1/2
      重量kg 42

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